Corial D250

  • Описание

Установка осаждения диэлектриков . Эта PECVD -система предназначена для осаждения на подложки следующих пленок: SiO2, Si3N4, SixNy

Основные возможности:

  • Высокотемпературный изотермический реактор, находящийся внутри вакуумной камеры, обеспечивает высокую равномерность осаждения пленок.
  • Симметричный дизайн реактора позволяет проводить бомбардировку ионами пластины с достижением минимального стресса.
  • Плазменный реактор изготовлен из алюминия, что позволяет избежать коррозии при плазмохимическом травлении для чистки.
  • Детектор окончания процесса полностью интегрирован в программное обеспечение и механику системы.

Описание установки плазмохимического осаждения Corial D250

Камера нанесения основана на концепции высокотемпературного изотермического реактора, находящегося внутри вакуумной камеры.

Во время процесса PECVD давление в вакуумной камере намного ниже, чем в реакторе. В результате не происходит загрязнения наносимой пленки диэлектриков кислородом от холодных стенок камеры.

Плазменный реактор имеет круглую форму диаметром 250 мм и позволяет располагать пластины диаметром до 200 мм (или 2 пластины по 100 мм). Газовый душ способствует высокоравномерному распылению газа на пластине. Используемые газы равномерно накачиваются вокруг подложкодержателя. Plasma Box окружен двумя нагревающими кабелями. ИК-рефлекторы позволяют избежать потери тепла. В результате подложкодержатель и реактор оказываются в печи с контролем температуры подложки ±1°C.

Включает в себя следующие части:

  • Контроллер Eurotherm 2408 и термопара позволяют производить нагрев подложки до 325°C. Симметричный дизайн реактора позволяет проводить бомбардировку пластины ионами с достижением минимального стресса.
  • Плазменный реактор изготовлен из алюминия, что позволяет избежать коррозии при травлении для чистки. Специальное окно позволяет использовать лазерный рефлектометр для определения скорости осаждения и толщины пленок.
  • Насосную систему , которая включает :
    • насос № 1: ALCATEL ADP 122 P со скоростью откачки 95 м³/ч,
    • насос № 2 : ALCATEL турбомолекулярный (100 л/с) с продувкой( N 2),
    • набор клапанов для дополнительного вакуумного кольца защиты камеры в случае избыточного давления N 2 и чистки камеры травлением,
    • измеритель высокого вакуума Penning ,
    • измеритель вакуума T 2 0 - 2 Torr для контроля вакуума в реакторе и камере.
  • Электронные контроллеры для проведения процесса
  • Высоко- и низковольтные источники питания (220 VAC и 400 VAC) и (5 V , +15 V , -15 V и +24 V ).
  • Газовую панель с семью линиями (максимум 9 линий) для реактивных газов с расходомерами UNIT . Стандартные MFCs 50 sccm O 2 , 200 sccmSF 6 , 1000 sccm N 2 , 1000 sccm He , 500 sccm NH 3 , 500 sccm N 2 O и 100 sccmSiH 4 .
  • 300 W 13.56 MHz охлаждаемый ВЧ-генератор.
  • Программное обеспечение COSMA , работающее на LINUX ,включающее в себя:
    • автоматическое переключение между шагами в мультишаговых процессах в соответствии с сигналами от датчика окончания процесса или таймеров. Число шагов каждого процесса может достигать 300. Число самих процессов ограничено только пропускной способностью контроллера жесткого диска.Система проверяет все параметры и отображает на дисплее ошибки, которые могут происходить. Каждый шаг процесса находится под пристальным мониторингом и четко контролируется, что дает высокую воспроизводимость (повторяемость) процесса и его работоспособность. Частью пакета программного обеспечения является запись информации с возможностью дальнейшего просмотра параметров уже завершенных процессов.
    • доступно четыре режима программы:
      • редактирование для подгонки параметров или создания новых параметров для процессов,
      • запуск процесса плазмохимического осаждения с его контролем в реальном времени и выводом всех параметров на дисплей,
      • оптимизация для разработки новых процессов с помощью интерактивного контроля процесса и его редактирования,
      • режим технического обслуживания для диагностики и калибровки системы.
    • система поддерживает высокоскоростное Интернет-соединение,защищенное брандмауэром, а также соединение по VPN (виртуальной частной сети).
  • Персональный компьютер под управлением ОС Windows ,укомплектованный:
    • процессором Intel Pentium ,
    • 512 Мб ОЗУ и жестким диском,
    • 17-дюймовым ЖК-монитором,
    • мышкой и клавиатурой.
  • Рамку и панель для оборудования.

Дополнительное оборудование

Автоматический лазерный датчик окончания процесса с CCD -камерой для наблюдения за лазером (O25 µм) и предмета травления. Он укомплектован линзами с кратностью увеличения более 100 раз. Датчик измеряет степень травления, толщину протравленной поверхности и определяет окончание процесса. Также датчик укомплектован специальной поверхностью, двигающуюся в двух направлениях для точного позиционирования лазера.

Copyright MAXXmarketing GmbH
JoomShopping Download & Support
Нужна помощь специалиста?
Оставьте ваш номер и мы вам перезвоним:
Отправить
© 2018 НижПромИнжиниринг
Создание интернет-магазинов — Сайт52
Фильтр
Закрыть
Купить в 1 клик