SUSS ACS200 Gen3

  • Описание

SUSS ACS200 Gen3 Обеспечивает полный цикл процессов при литографии, включая нанесение резистов, проявление, спрей-нанесение, отмыв, задубливание, ГМДС-обработку и охлаждение пластин. Идеальна для работы со степпером и автоматической установкой совмещения.

Основные возможности:

  • Автодетектирование размера пластин
  • Наращиваемая кластерная архитектура
  • Превосходная работа с толстыми резистами
  • Купол GYRSET для лучшей равномерности нанесения
  • Нанесение без "бахромы" на квадратных и прямоугольных подложках
  • Точная система удаления валика у края
  • Нанесение резистов струей и спреем для достижения превосходного покрытия высокой топографии
  • Технология параллельных потоков для оптимального использования установки

Преимущества системы производства микросхем:

  • Автодетектирование размера пластин, что делает возможным одновременную работу с пластинами 200 мм и 300 мм, а также квадратными подложками
  • Наращиваемая кластерная архитектура
  • Превосходная работа с толстыми резистами
  • Купол GYRSET для лучшей равномерности нанесения
  • Нанесение без "бахромы" на квадратных и прямоугольных подложках
  • Точная система удаления валика у края
  • Нанесение резистов струей и спреем для достижения превосходного покрытия высокой топографии
  • Технология параллельных потоков для оптимального использования установки
  • Нанесение толстых резистов

Система обеспечивает превосходную равномерность нанесения толстых резистов без краевого валика, что критично, например, для гальваники. Также система отлично справляется с таким всегда сложным на толстых резистах процессом, как запекание (нагревание) - обеспечивается превосходная равномерность и одновременность процесса.

Преимущества системы GYRSET

Те технологии, которые разработаны для 200-мм пластин, не всегда хорошо работают на 300-мм пластинах. С технологией GYRSET (купол с направленными потоками) вы можете избежать трех основных проблем:

  • турбулентности потоков над пластиной, что дает защиту от втягивания постороннего воздуха под купол
  • высокой скорости вращения - технологии нанесения при закрытой чаше требуют более низкой скорости вращения, чем при открытой для достижения той же толщины слоя резиста
  • пленки, образующейся на поверхности мокрого резиста при открытой чаше

Проявления резиста

Проявитель может быть подогрет и нанесен с помощью широкого выбора насадок (сопел). Программируется высота подающей руки, что обеспечивает плавную регулировку воздействия на пластину.

Модули системы производства микросхем:

SUSS_ACS200_Gen3_1
SUSS_ACS200_Gen3_2

Нанесение

Купол GYRSET обеспечивает высокую равномерность на пластинах 200 и 300 мм, а также на квадратных подложках при уменьшенном потреблении резиста. Также возможно использование центрифуги с открытой чашей. Модуль нанесения имеет три независимых, температурно контролируемых (опция) подающих руки. Также доступна опция убирания краевого валика и обмыва задней стороны пластины. Автоматическая промывка сопел предупреждает их от пробок высохшего резиста.

SUSS_ACS200_Gen3_3

Модуль нагревателей

Каждый температурный столик индивидуально контролируется на нагревание или охлаждение. Моторизованные штыри обеспечивают заданный зазор между температурной плоскостью и пластиной. Испарившийся растворитель отводится индивидуальной вытяжкой и азотной очисткой

SUSS_ACS200_Gen3_4
SUSS_ACS200_Gen3_5
SUSS_ACS200_Gen3_6

Проявление

Чтобы обеспечить выполнение всех используемых в настоящее время технологий проявления, система оснащена несколькими опциями. Струя, веерное нанесение или нанесение наливом - стандартные конфигурации. Подающие руки программируются по высоте для обеспечения лучшей геометрии нанесения.

SUSS_ACS200_Gen3_7

Модуль ввода-вывода

Модуль ввода-вывода может иметь до четырех кассетных станций. Это могут быть как стандартные FOUP - кассеты, так и открытые кассеты с автодетектированием размера пластины от 200 до 300 мм. Также могут использоваться 200-мм SMIF - кассеты. Транспортировка пластин осуществляется роботом. 200-мм и 300-мм пластины могут обрабатываться в системе в одно время. Также модуль ввода-вывода может быть укомплектован предсовместителем для центровки пластины и определения ее направления.

SUSS_ACS200_Gen3_8

Легкий доступ для обслуживания

Обслуживание определенного модуля машины можно осуществлять при включенных остальных модулях. В системе предусмотрен легкий доступ к ключевым узлам, в том числе электронике.

SUSS_ACS200_Gen3_9

Отсек для резервуаров с химикатами

Отсек укомплектован индивидуальными выдвижными ящиками для легкого доступа к резистам и химикатам. Резервуары могут быть наполнены из центрального подающего источника. Предусмотрено автоматическое переключение между емкостями для обеспечения бесперебойного снабжения системы. Система конфигурируется в широких рамках для обеспечения максимальной гибкости системы.

SUSS_ACS200_Gen3_10

Интеграция процессов

В системе используется один центральный робот на четыре модуля процессов производства микросхем. Также могут быть добавлены дополнительные роботы для обеспечения дополнительных модулей при увеличивающейся конфигурации.

Copyright MAXXmarketing GmbH
JoomShopping Download & Support
Нужна помощь специалиста?
Оставьте ваш номер и мы вам перезвоним:
Отправить
© 2018 НижПромИнжиниринг
Создание интернет-магазинов — Сайт52
Фильтр
Закрыть
Купить в 1 клик