Sawatec LRD-250

  • Описание

Удобная установка для проявления, позволяющая производить проявление полупроводниковых пластин и вымывание резиста путем налива проявляющей жидкости различными типами струй

Основные возможности:

  • Сенсорный дисплей
  • До 50 рецептов по 24 шага в каждом
  • Закрытая чаша для проявления
  • Обработка пластин до 200 мм диаметром и подложек до 150х150 мм
  • Возможность подогрева проявителя
  • Подающая рука с электрическим приводом
  • До 4 подающих линий под разные проявители
  • На руке сопло для проявителя, для деионизированной воды, а также для обдува азотом
  • Механический зажим подложек
  • Звуковой сигнал по окончании процесса проявления
  • Два варианта - в напольном столике или для встраивания

Возможности установки проявления:

  • Сенсорный дисплей
  • До 50 рецептов по 24 шага в каждом
  • Закрытая чаша для проявления
  • Обработка пластин до 200 мм диаметром и подложек до 150х150 мм
  • Возможность подогрева проявителя
  • Подающая рука с электрическим приводом
  • До 4 подающих линий под разные проявители
  • На руке сопло для проявителя, для деионизированной воды, а также для обдува азотом
  • Механический зажим подложек
  • Звуковой сигнал по окончании процесса проявления
  • Два варианта - в напольном столике или для встраивания

Опции:

  • Дополнительные линии для проявителей (до четырех)
  • Система подогрева проявителей
  • Сопла из пластика от 0,3 до 0,8 мм
  • Сопла из нержавеющей стали от 0,3 до 0,8 мм

Параметры процессов:

  • Скорость до 3000 об/мин
  • Ускорение 160 об/мин/сек2

Требования по подключению:

  • 240 В переменного тока 50/60 Гц, 16А
  • Сжатый воздух (6 бар)
  • Азот (4 бара)
  • Деионизированная вода (3 бара)
  • Вытяжкка диам. 76 мм (40-60 м3/ч)

Размеры и вес:

  • 850х750х1320 мм
  • 130 кг
Copyright MAXXmarketing GmbH
JoomShopping Download & Support
Нужна помощь специалиста?
Оставьте ваш номер и мы вам перезвоним:
Отправить
© 2018 НижПромИнжиниринг
Создание интернет-магазинов — Сайт52
Фильтр
Закрыть
Купить в 1 клик